Monosilan
Strukturformel | ||||||||||||||||
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Struktur von Monosilan | ||||||||||||||||
Allgemeines | ||||||||||||||||
Name | Monosilan | |||||||||||||||
Andere Namen |
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Summenformel | SiH4 | |||||||||||||||
CAS-Nummer | 7803-62-5 | |||||||||||||||
PubChem | 23953 | |||||||||||||||
Kurzbeschreibung |
farbloses Gas mit unangenehmen Geruch<ref name=roempp>Eintrag zu Silane. In: Römpp Online. Georg Thieme Verlag, abgerufen am 14. Juli 2014.</ref> | |||||||||||||||
Eigenschaften | ||||||||||||||||
Molare Masse | 32,12 g·mol−1 | |||||||||||||||
Aggregatzustand |
gasförmig | |||||||||||||||
Dichte |
1,35 g·l−1 (1013 hPa, 15 °C) <ref name="GESTIS">Eintrag zu Monosilan in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFA, abgerufen am 15. Januar 2008 (JavaScript erforderlich)</ref> | |||||||||||||||
Schmelzpunkt |
−185 °C <ref name="GESTIS"/> | |||||||||||||||
Siedepunkt |
−112 °C <ref name="GESTIS"/> | |||||||||||||||
Löslichkeit |
löslich unter Hydrolyse in Wasser <ref name="GESTIS"/> | |||||||||||||||
Sicherheitshinweise | ||||||||||||||||
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MAK |
Schweiz: 0,5 ml·m−3 bzw. 0,7 mg·m−3<ref>SUVA: Grenzwerte am Arbeitsplatz 2015 – MAK-Werte, BAT-Werte, Grenzwerte für physikalische Einwirkungen, abgerufen am 2. November 2015.</ref> | |||||||||||||||
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. |
Monosilan ist der einfachste Vertreter der Silane (auch Siliciumwasserstoffe genannt) und somit das Siliziumanalogon von Methan, CH4. Es hat – im Gegensatz zu Methan – einen unangenehmen repulsiven Geruch.<ref name=Legrum>Wolfgang Legrum: Riechstoffe, zwischen Gestank und Duft, Vieweg + Teubner Verlag (2011) S. 68−69, ISBN 978-3-8348-1245-2.</ref>
Inhaltsverzeichnis
Chemische Eigenschaften
Monosilan ist hoch entzündlich und pyrophor, d. h. Monosilan entzündet sich an der Luft selbst. Austretendes Monosilan kann nicht gelöscht werden. Bei der Verbrennung entstehen Kieselsäure und Wasserdampf.
- <math>\mathrm{SiH_4 + 2\,O_2 \rightarrow SiO_2 + 2\,H_2O\ \quad \Delta H \ll 0}</math>
In Wasser bei einem pH-Wert oberhalb von 7 zersetzen sich Silane zu Kieselsäure und Wasserstoff:
- <math>\mathrm{SiH_4 + 4\, H_2O\ _{\overrightarrow{\mathrm{pH\ >\ 7}}} \ Si(OH)_4 + 4\, H_2}</math>
- Monosilan und Wasser bilden Kieselsäure und Wasserstoff.
Unter Luft- und Feuchtigkeitsausschluß ist Monosilan bis ca. 300 °C stabil. Darüber tritt Zerfall in Silizium und Wasserstoff ein.
- <math>\mathrm{SiH_4 \rightarrow Si + 2\,H_2\ }</math>
Die UN-Nummer von Monosilan ist 2203, der Gefahrzettel 2.1.
Herstellung von Monosilan
Monosilan kann im Labor durch Reaktion von Magnesiumsilicid mit Salzsäure hergestellt werden. Technische Herstellungsverfahren beruhen auf der Hydrierung von Siliziumtetrachlorid mit Lithiumhydrid im Lithiumchlorid/Kaliumchlorid-Eutektikum,<ref name=roempp/>
- <math>\mathrm{SiCl_4\ +\ 4\ LiH\longrightarrow\ SiH_4\ +\ 4\ LiCl}</math>
bzw. auf der Dismutation von Hydrogenchlorsilanen, wie z. B. Trichlorsilan.<ref name="HoWi">A. F. Holleman, E. Wiberg, N. Wiberg: Lehrbuch der Anorganischen Chemie. 91.–100., verbesserte und stark erweiterte Auflage. de Gruyter, Berlin 1985, ISBN 3-11-007511-3 .</ref>
Verwendung
Monosilan wird zur Abscheidung von Silizium- Siliziumoxid- und Siliziumnitridschichten verwendet. Daher wird Monosilan hauptsächlich in der Halbleiterfertigung oder bei der Herstellung von Solarzellen eingesetzt.
Siehe auch
Einzelnachweise
<references />